摘要：一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)，其中的裝置包括：過零檢測單元，用于從交流電壓的過零點開始產(chǎn)生同步信號，并將產(chǎn)生的同步信號輸出給控制單元；控制單元，從同步信號的上升沿到達時刻開始對信號進行可編程延時產(chǎn)生延時同步信號并控制數(shù)模轉(zhuǎn)換單元輸出與延時同步信號同步的數(shù)字量的掃描信號。利用過零點進行掃描信號和電網(wǎng)工頻的同步不會由于電網(wǎng)電壓波動而產(chǎn)生相移，從而保證了掃描信號和電網(wǎng)工頻的良好同步，輸出掃描信號不受電網(wǎng)電壓波動的影響。由于控制單元對同步信號進行了編程延時，經(jīng)過延時后的掃描信號起點能夠避開由于電網(wǎng)電壓過零而導(dǎo)致電路噪聲較大的時刻，掃描信號與電網(wǎng)工頻的同步性更好，對電網(wǎng)電壓的抗干擾性和對電路噪聲的抗干擾性更好。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人王大千;韓勇;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號
- 申請?zhí)?/b>CN201310444740.X
- 申請時間2013年09月26日
- 申請公布號CN103700563B
- 申請公布時間2015年11月11日
- 分類號H01J37/26(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I;
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京公網(wǎng)安備11010802043465號
