摘要：一種角度掃描光發(fā)射電子顯微成像系統(tǒng)及其方法，包括光束掃描系統(tǒng)、電子顯微系統(tǒng)和控制系統(tǒng)；所述光束掃描系統(tǒng)包括激發(fā)光源、整形鏡、聚焦鏡、振鏡和成像鏡；所述整形鏡位于所述第一真空腔體內(nèi)部，用于對(duì)所述激發(fā)光源發(fā)射的激發(fā)光進(jìn)行整形，激發(fā)光經(jīng)過(guò)整形匯聚后在所述整形鏡的焦點(diǎn)a處形成聚焦光斑；所述聚焦鏡、所述振鏡位于所述第一真空腔體內(nèi)部，用于將聚焦光斑成像并投射至所述振鏡的反射鏡旋轉(zhuǎn)中心處；所述成像鏡位于所述第一真空腔體內(nèi)部，用于將經(jīng)過(guò)所述振鏡的反射光成像到被測(cè)樣品的表面。本發(fā)明提供的角度掃描光發(fā)射電子顯微成像系統(tǒng)及其方法能實(shí)現(xiàn)快速、精確的角度掃描，重復(fù)定位精度高，觀測(cè)效果好。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人耿俊清;李奇志;張軍安;孫占峰;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310395592.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年09月03日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103426709B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年05月25日
- 分類號(hào)H01J37/26(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;
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