摘要：一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)，其中的裝置包括：過(guò)零檢測(cè)單元，用于從交流電壓的過(guò)零點(diǎn)開(kāi)始產(chǎn)生同步信號(hào)，并將產(chǎn)生的同步信號(hào)輸出給控制單元；控制單元，從同步信號(hào)的上升沿到達(dá)時(shí)刻開(kāi)始對(duì)信號(hào)進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號(hào)并控制數(shù)模轉(zhuǎn)換單元輸出與延時(shí)同步信號(hào)同步的數(shù)字量的掃描信號(hào)。利用過(guò)零點(diǎn)進(jìn)行掃描信號(hào)和電網(wǎng)工頻的同步不會(huì)由于電網(wǎng)電壓波動(dòng)而產(chǎn)生相移，從而保證了掃描信號(hào)和電網(wǎng)工頻的良好同步，輸出掃描信號(hào)不受電網(wǎng)電壓波動(dòng)的影響。由于控制單元對(duì)同步信號(hào)進(jìn)行了編程延時(shí)，經(jīng)過(guò)延時(shí)后的掃描信號(hào)起點(diǎn)能夠避開(kāi)由于電網(wǎng)電壓過(guò)零而導(dǎo)致電路噪聲較大的時(shí)刻，掃描信號(hào)與電網(wǎng)工頻的同步性更好，對(duì)電網(wǎng)電壓的抗干擾性和對(duì)電路噪聲的抗干擾性更好。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人王大千;韓勇;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310444740.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年09月26日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103700563A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年04月02日
- 分類號(hào)H01J37/26(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I;
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