摘要：本發(fā)明公開了一種新的表面等離子體透鏡的批量化制備方法，屬于微/納光子器件領(lǐng)域。該方法首先在基底旋涂納米球排列形成的單層自組裝結(jié)構(gòu)；對(duì)納米球的直徑進(jìn)行調(diào)整后，淀積第一層金屬薄膜，去除基底上的納米球及金屬薄膜后，得到完全由納米孔組成的結(jié)構(gòu)陣列；旋涂光刻膠并圖形化得到圓形凸臺(tái)，以此定義透鏡孔徑以及透鏡陣列的排布形式；淀積第二層金屬薄膜；去除光刻膠及金屬薄膜，得到最終的表面等離子體透鏡。本方法采用基于旋涂法的納米球光刻技術(shù)，具備圓片級(jí)的加工能力，可與標(biāo)準(zhǔn)的微/納加工工藝集成，極大提高工藝效率、縮減工藝成本；同時(shí)，組成透鏡的納米孔尺寸可通過調(diào)整納米球直徑來(lái)控制，進(jìn)而對(duì)器件的透過率實(shí)現(xiàn)調(diào)制。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人西北工業(yè)大學(xué);
- 發(fā)明人虞益挺;苑偉政;
- 地址710072 陜西省西安市友誼西路１２７號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310285392.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年07月08日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103345009B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年04月22日
- 分類號(hào)G02B3/00(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
