摘要：本發(fā)明公開了一種物體探測(cè)系統(tǒng)，其包括載物臺(tái)、驅(qū)動(dòng)所述載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)裝置、用于定位所述載物臺(tái)的位置的光學(xué)編碼器、用于對(duì)于載物臺(tái)上的目標(biāo)物體進(jìn)行探測(cè)的探測(cè)器以及控制模塊。在掃描模式時(shí)，所述控制模塊根據(jù)來(lái)自光學(xué)編碼器的第一分辨率刻度數(shù)據(jù)去控制所述驅(qū)動(dòng)裝置以第一預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動(dòng)所述載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)以進(jìn)行缺陷掃描。在檢測(cè)模式時(shí)，所述控制模塊根據(jù)來(lái)自光學(xué)編碼器的第二分辨率刻度數(shù)據(jù)去控制所述驅(qū)動(dòng)裝置以第二預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動(dòng)所述載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)以進(jìn)行缺陷檢測(cè)。一方面，利用低分辨率刻度數(shù)據(jù)進(jìn)行高速缺陷掃描，同時(shí)結(jié)合時(shí)間偏差及轉(zhuǎn)速來(lái)精確定位缺陷位置，另一方面，利用高分辨率刻度數(shù)據(jù)進(jìn)行低速缺陷定位，從而兼顧了快速掃描和精確的缺陷檢測(cè)。
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- 申請(qǐng)時(shí)間2013年02月26日
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年05月27日
- 分類號(hào)G01N21/88(2006.01)I;
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