摘要：本發(fā)明屬于使用光伏處理尾氣的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種光伏尾氣處理系統(tǒng)。包括依次連接的吸附燃燒單元和吸附水洗單元，所述吸附燃燒單元和吸附水洗單元均設(shè)有吸附層，干泵從真空室抽出的尾氣通過(guò)吸附燃燒單元和吸附水洗單元后排到大氣中，兩個(gè)吸附層防止水分逆流。本發(fā)明通過(guò)不同方式進(jìn)行過(guò)濾，有效保證泵內(nèi)氣體清潔，有效防止泵的損壞和真空室被污染。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人李良進(jìn);張寧;王光玉;張軍;郭麗娟;
- 地址110168 遼寧省沈陽(yáng)市渾南新區(qū)新源街一號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210590833.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月29日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103055658B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年12月31日
- 分類(lèi)號(hào)B01D53/04(2006.01)I;B01D53/18(2006.01)I;F23G7/06(2006.01)I;
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