摘要：本發(fā)明公開了一種碲鋅鎘與金屬界面的透射電子顯微鏡樣品制備方法，用于解決現(xiàn)有的在制備CdZnTe與金屬界面TEM樣品時極易發(fā)生樣品碎裂而導(dǎo)致廢品率高的技術(shù)問題。技術(shù)方案是對CdZnTe單晶體進(jìn)行線切割、清洗、拋光后，進(jìn)行化學(xué)腐蝕；在電阻蒸發(fā)鍍膜機(jī)中制備金屬電極；將樣品對粘后，在加熱臺上烘烤；然后沿粘接縫隙的法線方向進(jìn)行磨拋減薄后進(jìn)行雙面拋光，在其中一面粘接銅載網(wǎng)后，用手動研磨器減薄樣品，最后采用Gatan?691型離子減薄儀進(jìn)行減薄直至樣品擊穿。由于采用多片粘接和手動研磨器以高標(biāo)號的砂紙進(jìn)行研磨拋光，經(jīng)過減薄和拋光，從而在最大程度上降低在減薄過程中對界面區(qū)域造成的損傷，提高了樣品制備的成功率。樣品制備成功率由背景技術(shù)的30％～40％提高到60％～70％。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人西北工業(yè)大學(xué);
- 發(fā)明人傅莉;孫頡;聶中明;
- 地址710072 陜西省西安市友誼西路127號
- 申請?zhí)?/b>CN201210034447.1
- 申請時間2012年02月15日
- 申請公布號CN102539213B
- 申請公布時間2013年06月19日
- 分類號G01N1/28(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I;
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