摘要：本發(fā)明涉及一種真空泵，具體涉及一種三軸羅茨真空泵。包括電機、主軸和從動軸，主軸上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸上，在主軸和從動軸上裝有羅茨轉(zhuǎn)子，所述的從動軸有兩根，平行且對稱的裝配在主軸的兩側(cè)。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)緊湊、結(jié)構(gòu)對稱、三作用抽氣和泵腔內(nèi)無油的特點，能實現(xiàn)較大的抽氣速率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人東北大學(xué);中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人劉坤;巴德純;岳向吉;李培印;王光玉;張振厚;
- 地址110819 遼寧省沈陽市和平區(qū)文化路3號巷11號
- 申請?zhí)?/b>CN201010565609.5
- 申請時間2010年11月30日
- 申請公布號CN101985935B
- 申請公布時間2012年12月26日
- 分類號F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I;
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