摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種能定量檢驗(yàn)I型凹面光柵分度誤差的方法。它通過(guò)檢驗(yàn)I型凹面光柵正負(fù)極光譜的衍射光束形成的干涉條紋，確定I型凹面光柵分度誤差。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人北京光學(xué)儀器廠;
- 發(fā)明人吳振華;
- 地址北京市通縣
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN86107454
- 申請(qǐng)時(shí)間1986年11月07日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN86107454A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間1988年05月18日
- 分類(lèi)號(hào)G01M11/02;
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