摘要:本實用新型公開了一種氦質(zhì)譜檢漏儀裝置,包括有分為上、下兩層的小推車,氦質(zhì)譜檢漏儀的儀器主機置于小推車上層,機械泵置于小推車下層。本實用新型機械泵與儀器主機分開設(shè)置,可減少機械泵對質(zhì)譜室的影響。
- 專利類型實用新型
- 申請人安徽皖儀科技股份有限公司;
- 發(fā)明人朱長平;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區(qū)天達路71號華億科技園B幢皖儀大廈
- 申請?zhí)?/b>CN201520727047.8
- 申請時間2015年09月18日
- 申請公布號CN205091101U
- 申請公布時間2016年03月16日
- 分類號G01M3/20(2006.01)I;




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