摘要：本發(fā)明提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)高壓檢漏的氦質(zhì)譜檢漏儀，在原氦質(zhì)譜檢漏儀外部通過真空管道連接隔膜泵、截流閥座、真空電磁閥、真空計，所述截流閥座內(nèi)設(shè)有控制氦氣物理滲透的石英膜片，并將該接口端連接到分子泵的精抽口，利用石英膜片的對氦氣的滲透原理和對其它氣體的截流，從根本上氦質(zhì)譜檢漏儀的最高檢漏壓力，隔膜泵保證了在高壓力檢漏下氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏的較短響應(yīng)時間，采用真空電磁閥的切換，可以實現(xiàn)氦質(zhì)譜檢漏儀各種壓力下檢漏，極大地擴展了氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用范圍。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人安徽皖儀科技股份有限公司;
- 發(fā)明人朱長平;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區(qū)天達(dá)路71號華億科技園B幢皖儀大廈
- 申請?zhí)?/b>CN201510956609.0
- 申請時間2015年12月17日
- 申請公布號CN105571792A
- 申請公布時間2016年05月11日
- 分類號G01M3/20(2006.01)I;
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