摘要：本實用新型公開了一種低壓工件的氦質(zhì)譜泄漏檢測裝置，包括有與低壓檢測工件的內(nèi)部密封連接的真空管道，真空管道的另一端連接輔助真空泵，真空管道上依次設(shè)有三通、四通、手動擋板閥、抽空穩(wěn)壓閥，所述的三通、四通與真空管道的內(nèi)部連通，三通的另一端設(shè)有真空計，四通的另兩端分別設(shè)有手動放氣閥、吸槍，吸槍的吸槍端口深入在四通的中部，吸槍與氦質(zhì)譜檢漏儀連接。本實用新型實現(xiàn)了低壓工件的氦質(zhì)譜泄漏檢測，可操作性強，檢測精度較高，系統(tǒng)實現(xiàn)成本較低。
- 專利類型實用新型
- 申請人安徽皖儀科技股份有限公司;
- 發(fā)明人宋懷雙;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區(qū)天達路71號華億科技園B幢皖儀大廈
- 申請?zhí)?/b>CN201520316622.5
- 申請時間2015年05月15日
- 申請公布號CN204666315U
- 申請公布時間2015年09月23日
- 分類號G01M3/20(2006.01)I;
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