摘要：本實用新型公開了一種針對氣體質(zhì)量流量計內(nèi)部的清洗裝置，包括清洗氣源、連通清洗氣源的清洗管路，其特征在于，所述清洗管路中設有清洗接口和控制接口；其中，所述清洗接口之間在清洗狀態(tài)時連通被清洗的氣體質(zhì)量流量計，所述控制接口之間連通一氣體質(zhì)量流量控制器，所述清洗管路的尾端連通清洗氣體回收裝置；所述氣體質(zhì)量流量控制器電連接計算機。此離線式設計的清洗裝置，可實行批量清洗，提高清洗效率；通過計算機控制氣體質(zhì)量流量控制器實現(xiàn)清洗自動控制，使清洗質(zhì)量得到有效保障，并大為節(jié)約清洗氣體的使用量。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人楊宇;蔣興東;趙迪;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201320889826.9
- 申請時間2013年12月31日
- 申請公布號CN203642980U
- 申請公布時間2014年06月11日
- 分類號G01F15/12(2006.01)I;
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