摘要：本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，涉及一種半導(dǎo)體材料的激光激發(fā)熒光與白光反射的同步測(cè)量裝置，更具體的說涉及LED外延片非接觸式測(cè)試裝置。本實(shí)用新型裝置包括：在支撐板（2）上固定的光譜儀（3）、收光裝置（4）、激光器安裝架（5）、激光器（6）、分光鏡裝置（7）、濾光片裝置（8）、中央開孔反射鏡（9）、聚光裝置（10）、白光源（11）、樣品（12）安裝架、光路安裝座（13）。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，測(cè)試效率明顯提高，具有良好的經(jīng)濟(jì)效益。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京中拓機(jī)械有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人郭金源;徐杰;
- 地址102208 北京市昌平區(qū)回龍觀龍祥工業(yè)園3號(hào)院北京中拓機(jī)械有限責(zé)任公司
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220185922.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年04月27日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202599839U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年12月12日
- 分類號(hào)G01N21/64(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
