摘要：本發(fā)明涉及半導體測試領域，涉及一種半導體材料的激光激發(fā)熒光與白光反射的同步測量裝置，更具體的說涉及LED外延片非接觸式測試裝置。本發(fā)明裝置包括：在支撐板（2）上固定的光譜儀（3）、收光裝置（4）、激光器安裝架（5）、激光器（6）、分光鏡裝置（7）、濾光片裝置（8）、中央開孔反射鏡（9）、聚光裝置（10）、白光源（11）、樣品（12）安裝架、光路安裝座（13）。本發(fā)明的優(yōu)點是由于采用了上述技術方案，本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比，測試效率明顯提高，具有良好的經(jīng)濟效益。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中拓機械有限責任公司;
- 發(fā)明人郭金源;徐杰;
- 地址102208 北京市昌平區(qū)回龍觀北京中拓機械有限責任公司
- 申請?zhí)?/b>CN201210127936.1
- 申請時間2012年04月27日
- 申請公布號CN102636472B
- 申請公布時間2014年09月17日
- 分類號G01N21/64(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I;
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