摘要：本發(fā)明為一種半導(dǎo)體晶片的高速熒光光譜檢測裝置，涉及半導(dǎo)體晶片檢測裝置，主要包括機(jī)架（1）、半導(dǎo)體晶片運(yùn)動機(jī)構(gòu)（2）、激光發(fā)生裝置（3）、光路收集系統(tǒng)（4）、光譜儀（5）、面陣CCD相機(jī)（6）、控制計算機(jī)（7），其中，半導(dǎo)體晶片運(yùn)動機(jī)構(gòu)（2）、激光發(fā)生裝置（3）、光路收集系統(tǒng)（4）和光譜儀（5）均固定在機(jī)架（1）上端，半導(dǎo)體晶片運(yùn)動機(jī)構(gòu)（2）固定在機(jī)架（1）下端，所述的半導(dǎo)體晶片運(yùn)動機(jī)構(gòu)（2）、激光發(fā)生裝置（3）、光路收集系統(tǒng)（4）、光譜儀（5）、面陣CCD相機(jī)（6），在使用時在暗室（8）內(nèi)。本發(fā)明的檢測裝置的優(yōu)點(diǎn)是既能實(shí)現(xiàn)高速掃描半導(dǎo)體晶片，又可獲得半導(dǎo)體晶片的熒光光譜形狀、強(qiáng)度、峰值波長、半高寬等豐富信息。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中拓機(jī)械集團(tuán)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人徐杰;郭金源;
- 地址102208 北京市昌平區(qū)科技園區(qū)華通路11號
- 申請?zhí)?/b>CN201510034852.7
- 申請時間2015年01月24日
- 申請公布號CN104568893A
- 申請公布時間2015年04月29日
- 分類號G01N21/64(2006.01)I;
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