摘要：本實(shí)用新型提供一種采用溫控方式提高測量精度的微機(jī)械加速度計(jì)傾角傳感器，包括殼體及底蓋，還包括安裝在殼體及底蓋所形成大空腔內(nèi)的內(nèi)層殼體，所述內(nèi)層殼體形成小密閉空腔，所述內(nèi)層殼體內(nèi)安裝MEMS加速度計(jì)，所述內(nèi)層殼體外表面用導(dǎo)熱硅膠粘貼薄膜加熱器并加裝保溫材料，所述MEMS加速度計(jì)外表面安裝測溫傳感器，自動(dòng)控制薄膜加熱器電流的解算控制板與所述測溫傳感器相偶聯(lián)。本實(shí)用新型克服了傳統(tǒng)溫度補(bǔ)償方法費(fèi)時(shí)費(fèi)力生產(chǎn)成本高的不足，顯著減小了由于傳感器環(huán)境溫度大范圍變化產(chǎn)生的零位及比例因子漂移誤差。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京星網(wǎng)宇達(dá)科技股份有限公司;
- 發(fā)明人遲家升;宋光威;
- 地址100097 北京市海淀區(qū)藍(lán)靛廠東路2號院2號樓（金源時(shí)代商務(wù)中心2號樓）2單元（B座）5A
- 申請?zhí)?/b>CN201120559562.1
- 申請時(shí)間2011年12月28日
- 申請公布號CN202393384U
- 申請公布時(shí)間2012年08月22日
- 分類號G01C9/00(2006.01)I;
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