摘要：本實(shí)用新型涉及自動(dòng)控制的硅片檢查系統(tǒng)，包括一操作臺(tái)，操作臺(tái)上有取送硅片的機(jī)械手、硅片盒平臺(tái)、硅片表面檢查機(jī)構(gòu)、載物臺(tái)、鏡頭組、抽真空裝置，以及控制所述各裝置的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。機(jī)械手包括水平、垂直、旋轉(zhuǎn)三維動(dòng)作機(jī)構(gòu)，完成在某一高度下與水平運(yùn)動(dòng)方向成一角度的直線運(yùn)動(dòng)。硅片盒平臺(tái)包括一曲柄連桿機(jī)構(gòu)，連桿支撐一俯仰擺動(dòng)的翻轉(zhuǎn)板，翻轉(zhuǎn)板上放置硅片盒。硅片表面檢查機(jī)構(gòu)設(shè)置有一可進(jìn)行水平公轉(zhuǎn)、俯仰擺動(dòng)、自轉(zhuǎn)的真空吸盤，吸盤上放置硅片。載物臺(tái)包括帶動(dòng)上層導(dǎo)軌組和載物平臺(tái)一起進(jìn)行粗定位的下層導(dǎo)軌組，上層導(dǎo)軌組再帶動(dòng)載物平臺(tái)進(jìn)行精定位，載物臺(tái)上方設(shè)置鏡頭組。本實(shí)用新型取送觀察硅片快捷方便，并且各裝置可組合應(yīng)用，也可單獨(dú)應(yīng)用。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人陳百捷;北京自動(dòng)化技術(shù)研究院;
- 發(fā)明人陳百捷;徐偉新;姚廣軍;
- 地址100176北京市亦莊經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)大雄郁金香20號(hào)樓B-102
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200820123778.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2008年11月20日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201298024Y
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2009年08月26日
- 分類號(hào)G01N21/95(2006.01)I;G01N35/10(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
