摘要：本實用新型涉及自動控制的硅片檢查系統(tǒng)，包括一操作臺，操作臺上有取送硅片的機械手、硅片盒平臺、硅片表面檢查機構(gòu)、載物臺、鏡頭組、抽真空裝置，以及控制所述各裝置的計算機系統(tǒng)。機械手包括水平、垂直、旋轉(zhuǎn)三維動作機構(gòu)，完成在某一高度下與水平運動方向成一角度的直線運動。硅片盒平臺包括一曲柄連桿機構(gòu)，連桿支撐一俯仰擺動的翻轉(zhuǎn)板，翻轉(zhuǎn)板上放置硅片盒。硅片表面檢查機構(gòu)設(shè)置有一可進行水平公轉(zhuǎn)、俯仰擺動、自轉(zhuǎn)的真空吸盤，吸盤上放置硅片。載物臺包括帶動上層導(dǎo)軌組和載物平臺一起進行粗定位的下層導(dǎo)軌組，上層導(dǎo)軌組再帶動載物平臺進行精定位，載物臺上方設(shè)置鏡頭組。本實用新型取送觀察硅片快捷方便，并且各裝置可組合應(yīng)用，也可單獨應(yīng)用。
- 專利類型實用新型
- 申請人陳百捷;北京自動化技術(shù)研究院;
- 發(fā)明人陳百捷;徐偉新;姚廣軍;
- 地址100176北京市亦莊經(jīng)濟開發(fā)區(qū)大雄郁金香20號樓B-102
- 申請?zhí)?/b>CN200820123778.1
- 申請時間2008年11月20日
- 申請公布號CN201298024Y
- 申請公布時間2009年08月26日
- 分類號G01N21/95(2006.01)I;G01N35/10(2006.01)I;
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