摘要：本實(shí)用新型涉及一種觀察硅片表面的運(yùn)動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)，其特征在于它包括一豎直設(shè)置的、由水平電機(jī)通過(guò)帶動(dòng)水平旋轉(zhuǎn)的空心支柱，支柱的上下兩端分別伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄電機(jī)，曲柄電機(jī)的輸出軸連接一曲柄盤(pán)，曲柄盤(pán)偏心處通過(guò)一轉(zhuǎn)軸連接一空心聯(lián)桿，支柱上端伸出的兩翼耳間，樞接一吸盤(pán)擺柄，吸盤(pán)擺柄的前端樞接在聯(lián)桿的頂部，吸盤(pán)擺柄的空腔內(nèi)設(shè)置一自轉(zhuǎn)電機(jī)，自轉(zhuǎn)電機(jī)輸出端連接一吸盤(pán)轉(zhuǎn)軸，吸盤(pán)轉(zhuǎn)軸伸出吸盤(pán)擺柄連接一吸盤(pán)，聯(lián)桿、吸盤(pán)擺柄、吸盤(pán)轉(zhuǎn)軸和吸盤(pán)上設(shè)置有相互連通的真空氣道。吸盤(pán)在機(jī)構(gòu)的各個(gè)電機(jī)帶動(dòng)下能夠自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)、俯仰，形成三種復(fù)合球面運(yùn)動(dòng)，并且解決了俯仰抖動(dòng)和大面積吸附問(wèn)題，可以廣泛得到推廣和應(yīng)用。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人陳百捷;北京自動(dòng)化技術(shù)研究院;
- 發(fā)明人陳百捷;徐偉新;姚廣軍;
- 地址100176北京市亦莊經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)大雄郁金香20號(hào)樓B-102
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200820123234.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2008年10月24日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201277952Y
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2009年07月22日
- 分類(lèi)號(hào)G01N21/89(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I;
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