摘要：本實用新型涉及一種觀察硅片表面的運動支撐機構，其特征在于它包括一豎直設置的、由水平電機通過帶動水平旋轉的空心支柱，支柱的上下兩端分別伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄電機，曲柄電機的輸出軸連接一曲柄盤，曲柄盤偏心處通過一轉軸連接一空心聯(lián)桿，支柱上端伸出的兩翼耳間，樞接一吸盤擺柄，吸盤擺柄的前端樞接在聯(lián)桿的頂部，吸盤擺柄的空腔內設置一自轉電機，自轉電機輸出端連接一吸盤轉軸，吸盤轉軸伸出吸盤擺柄連接一吸盤，聯(lián)桿、吸盤擺柄、吸盤轉軸和吸盤上設置有相互連通的真空氣道。吸盤在機構的各個電機帶動下能夠自轉、公轉、俯仰，形成三種復合球面運動，并且解決了俯仰抖動和大面積吸附問題，可以廣泛得到推廣和應用。
- 專利類型實用新型
- 申請人陳百捷;北京自動化技術研究院;
- 發(fā)明人陳百捷;徐偉新;姚廣軍;
- 地址100176北京市亦莊經(jīng)濟開發(fā)區(qū)大雄郁金香20號樓B-102
- 申請?zhí)?/b>CN200820123234.5
- 申請時間2008年10月24日
- 申請公布號CN201277952Y
- 申請公布時間2009年07月22日
- 分類號G01N21/89(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I;
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