摘要：本發(fā)明涉及一種激光回饋干涉儀，包括：正交偏振激光模塊，用于同向輸出兩束空間上重合的正交偏振的激光；第一分光鏡，設(shè)置于從所述正交偏振激光模塊輸出激光的光路上；第一偏振分光鏡，設(shè)置于所述第一分光鏡反射形成反射光的光路上；光電探測模塊，設(shè)置于所述第一偏振分光鏡輸出的正交偏振光的光路上；聲光移頻模塊，設(shè)置于第一分光鏡透射的透射光的光路上；第二分光鏡，設(shè)置于從聲光移頻模塊出射的光路上；匯聚模塊，設(shè)置于所述第二分光鏡反射的激光的光路上；反射模塊，用于將入射的光再次反射回正交偏振激光模塊；第二偏振分光鏡，設(shè)置于從所述第二分光鏡透射的光路上，用于形成偏振態(tài)分離的參考光及測量光。本發(fā)明提供的激光回饋干涉儀精度高。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京鐳測科技有限公司;
- 發(fā)明人張書練;張韶輝;談宜東;
- 地址100022 北京市朝陽區(qū)建華南路11號(hào)
- 申請?zhí)?/b>CN201610847628.4
- 申請時(shí)間2016年09月23日
- 申請公布號(hào)CN106546165A
- 申請公布時(shí)間2017年03月29日
- 分類號(hào)G01B9/02(2006.01)I;
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