摘要：本發(fā)明屬于稀疏超分辨檢測(cè)領(lǐng)域，并公開了一種基于稀疏的微小缺陷高頻超聲顯微成像超分辨的方法。該方法包括如下步驟：執(zhí)行過采樣高頻超聲顯微C?掃成像；根據(jù)過采樣時(shí)的采樣步長(zhǎng)與超聲探頭分辨率，計(jì)算出探頭點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)k；由點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)根據(jù)進(jìn)行稀疏超分辨計(jì)算，獲得最終高分辨圖像。本發(fā)明方法實(shí)現(xiàn)了高頻顯微成像對(duì)現(xiàn)微小缺陷進(jìn)行超分辨顯微成像，增強(qiáng)圖像信噪比和分辨率，提高微小缺陷檢測(cè)的準(zhǔn)確性，同時(shí)對(duì)于微觀缺陷的檢測(cè)有著重要的意義，有效地推動(dòng)微器件可靠性的發(fā)展。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人廖廣蘭;張貽春;史鐵林;王西彬;湯自榮;洪源;王肖;陳科鵬;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610827780.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年09月18日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN106404923A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2017年02月15日
- 分類號(hào)G01N29/44(2006.01)I;
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