摘要：本發(fā)明屬于稀疏超分辨檢測領(lǐng)域，并公開了一種基于稀疏的微小缺陷高頻超聲顯微成像超分辨的方法。該方法包括如下步驟：執(zhí)行過采樣高頻超聲顯微C?掃成像；根據(jù)過采樣時的采樣步長與超聲探頭分辨率，計算出探頭點擴散函數(shù)k；由點擴散函數(shù)根據(jù)進行稀疏超分辨計算，獲得最終高分辨圖像。本發(fā)明方法實現(xiàn)了高頻顯微成像對現(xiàn)微小缺陷進行超分辨顯微成像，增強圖像信噪比和分辨率，提高微小缺陷檢測的準確性，同時對于微觀缺陷的檢測有著重要的意義，有效地推動微器件可靠性的發(fā)展。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發(fā)明人廖廣蘭;張貽春;史鐵林;王西彬;湯自榮;洪源;王肖;陳科鵬;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201610827780.6
- 申請時間2016年09月18日
- 申請公布號CN106404923A
- 申請公布時間2017年02月15日
- 分類號G01N29/44(2006.01)I;
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