摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種提高金屬氧化物傳感器氣體敏感度的方法，該方法是在潔凈背景氣氛下，將金屬氧化物氣體傳感器在特定工作溫度(200-400℃)穩(wěn)定，然后設(shè)定降溫速度為1-50℃/s范圍內(nèi)的某一特定速度，程序降溫到特定低溫(室溫-200℃)，獲得傳感器的電阻隨溫度的變化曲線Rair-T，作為基底信號(hào)；檢測(cè)氣體氛圍下，以相同流程控制傳感器溫度，獲得傳感器的電阻隨溫度的變化曲線RGas-T，作為響應(yīng)信號(hào)；將基底信號(hào)與響應(yīng)信號(hào)相除，得到Rair/RGas-T的曲線，取該曲線上的最大值max(Rair/RGas)，作為對(duì)該氣體的敏感度。本發(fā)明在不改變金屬氧化物材料組分下，相比恒定工作溫度測(cè)試的方法大幅度提高了氣體傳感器的敏感活性，增大氣體敏感度，從而實(shí)現(xiàn)低濃度級(jí)別(ppb級(jí))氣體的高精度檢測(cè)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人張順平;雷濤;謝長(zhǎng)生;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510897491.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年12月07日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105510402A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年04月20日
- 分類號(hào)G01N27/12(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
