摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種TiO2薄膜光助氣敏元件及其制備方法和應(yīng)用。將鈦酸異丙酯溶于乙醇中，在金叉指電極片上原位生長(zhǎng)得到均勻致密的二氧化鈦薄膜氣敏元件。與常規(guī)的滴覆法相比，該方法制得的氣敏元件在紫外光作用下顯示出較佳的H2和丙酮?dú)怏w的響應(yīng)性能，并表現(xiàn)出良好的穩(wěn)定性和重復(fù)性。該方法簡(jiǎn)單易行，在制備半導(dǎo)體光助氣敏傳感器方面具有較好的應(yīng)用前景。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人福州大學(xué);
- 發(fā)明人戴文新;彭小英;陳旬;員汝勝;付賢智;
- 地址350002 福建省福州市鼓樓區(qū)工業(yè)路523號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510493459.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年08月13日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105136868A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年12月09日
- 分類(lèi)號(hào)G01N27/12(2006.01)I;
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