摘要：一種導(dǎo)電薄膜，包括層疊的TiO2-xFx層及Co3O4層。上述導(dǎo)電薄膜通過(guò)在TiO2-xFx層的表面沉積高功函的Co3O4層制備雙層導(dǎo)電薄膜，既能保持TiO2-xFx層的良好的導(dǎo)電性能，又使導(dǎo)電薄膜的功函數(shù)得到了顯著的提高。本發(fā)明還提供一種導(dǎo)電薄膜的制備方法及應(yīng)用。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
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- 發(fā)明人周明杰;陳吉星;黃輝;王平;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)南海大道海王大廈A座22層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310150189.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年04月26日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104120381A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年10月29日
- 分類(lèi)號(hào)C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;H05B33/26(2006.01)I;
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