摘要：一種導(dǎo)電薄膜，包括層疊的TiO2-xFx層及MO3層，其中，x為0.1～0.6，MO3為氧化鎢、氧化鉬和氧化錸中的至少一種。上述導(dǎo)電薄膜通過(guò)在TiO2-xFx層的表面沉積高功函的MO3層制備雙層導(dǎo)電薄膜，既能保持TiO2-xFx層的良好的導(dǎo)電性能，又使導(dǎo)電薄膜的功函數(shù)得到了顯著的提高。本發(fā)明還提供一種導(dǎo)電薄膜的制備方法及應(yīng)用。
- 專利類型發(fā)明專利
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310092616.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年03月21日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104060223A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年09月24日
- 分類號(hào)C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;
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