摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體取放設(shè)備耐久性的檢測(cè)方法，包括取放設(shè)備執(zhí)行硅片盒以及硅片的取放動(dòng)作，檢測(cè)系統(tǒng)的控制單元驅(qū)動(dòng)數(shù)據(jù)采集單元采集第一伸縮傳感器、第一旋轉(zhuǎn)傳感器、第二伸縮傳感器、第二旋轉(zhuǎn)傳感器、第一位置傳感器以及第二位置傳感器中部分或所有的檢測(cè)數(shù)據(jù)；控制單元驅(qū)動(dòng)數(shù)據(jù)采集單元將檢測(cè)數(shù)據(jù)發(fā)送給數(shù)據(jù)分析單元；數(shù)據(jù)分析單元通過(guò)各取放動(dòng)作的檢測(cè)數(shù)據(jù)，對(duì)取放設(shè)備的耐久性進(jìn)行分析。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體取放設(shè)備中選定或所有相關(guān)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)或模塊在一次耐久性檢測(cè)中全部參與進(jìn)行測(cè)試，省時(shí)省力，也提高了檢測(cè)的精確性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人賈軼群;劉建濤;鐘結(jié)實(shí);張立超;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410200310.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年05月13日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103983468B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年06月29日
- 分類號(hào)G01M99/00(2011.01)I;
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