摘要：本發(fā)明公開了一種適用于納米材料操控的多自由度納米操作臺，包括底座、Z向位移臺、XY向位移臺和納米操作臂，其中Z向位移臺沿著豎直方向設(shè)置在底座上，包括彼此連接的固定部件和安裝有Z向直線驅(qū)動電機的移動部件；XY向位移臺沿著水平方向設(shè)置在Z向位移臺的移動部件上，并包括彼此并聯(lián)滑動連接的第一至第三并聯(lián)部件，其中第一并聯(lián)部件上安裝有Y向直線驅(qū)動電機，第二并聯(lián)部件上安裝有X向直線驅(qū)動電機，第三并聯(lián)部件上安裝有旋轉(zhuǎn)運動驅(qū)動電機和納米操作臂。本發(fā)明通過對驅(qū)動電機與位移臺的高精度控制以及主要工作規(guī)格參數(shù)的設(shè)計，能夠有效保證納米操作的準確與穩(wěn)定，同時具備運動精度高、運動范圍大、調(diào)節(jié)靈活和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人趙昊;劉曉軍;章明;雷自力;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201410118898.2
- 申請時間2014年03月27日
- 申請公布號CN103903942B
- 申請公布時間2015年12月02日
- 分類號H01J37/20(2006.01)I;B82Y35/00(2011.01)I;
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