摘要：本實用新型公開了一種帶自動定位裝置的掃描電鏡樣品臺包括：樣品倉，設(shè)有樣品工作位；掃描單元，安裝在所述樣品倉內(nèi)位于樣品安裝位的正上方，通過馬達(dá)系統(tǒng)在X，Y方向上移動；交換倉，設(shè)有樣品安裝位，與所述樣品倉連通，還設(shè)有樣品進(jìn)出口和交換倉門；移動導(dǎo)軌，在所述樣品倉和交換倉之間傳輸樣品；樣品安裝座，安裝在所述移動導(dǎo)軌上，在所述樣品安裝位和樣品工作位之間移動；交換桿，一端連接所述樣品安裝座，一端伸出交換倉；攝像頭，安裝在交換倉內(nèi)位于所述樣品安裝位的正上方；控制器，設(shè)有導(dǎo)航模塊，所述導(dǎo)航模塊根據(jù)在樣品安裝座的圖像上指定位置以控制掃描單元平移到對應(yīng)的觀察位置上。
- 專利類型實用新型
- 申請人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人陳芳;李霄;裘雅漁;何巧紅;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號
- 申請?zhí)?/b>CN201620702355.X
- 申請時間2016年06月29日
- 申請公布號CN205881870U
- 申請公布時間2017年01月11日
- 分類號H01J37/20(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
