摘要：本發(fā)明涉及一種碰撞反應(yīng)池，所述碰撞反應(yīng)池包括兩個(gè)電極組，每個(gè)電極組均包括兩對(duì)電極，兩對(duì)電極正交放置，其中每對(duì)電極的兩個(gè)電極相對(duì)設(shè)置；每個(gè)電極組的兩對(duì)電極之間形成碰撞反應(yīng)區(qū)，每個(gè)電極組的相鄰兩個(gè)電極之間施加同頻反向RF電壓；碰撞反應(yīng)氣體通入第二個(gè)電極組。本發(fā)明具有質(zhì)量過(guò)濾精度高，簡(jiǎn)化碰撞反應(yīng)池工作條件等優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人聚光科技(杭州)股份有限公司;
- 發(fā)明人梁炎;陳斌;楊凱;劉立鵬;鄭毅;韓雙來(lái);邱明;徐岳;陳飛華;陳文益;李鷹;
- 地址310052 浙江省杭州市濱江區(qū)濱安路760號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310756581.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年12月31日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103715056A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年04月09日
- 分類號(hào)H01J49/42(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
