摘要：本發(fā)明涉及一種碰撞反應(yīng)池，所述碰撞反應(yīng)池包括兩個電極組，每個電極組均包括兩對電極，兩對電極正交放置，其中每對電極的兩個電極相對設(shè)置；每個電極組的兩對電極之間形成碰撞反應(yīng)區(qū)，每個電極組的相鄰兩個電極之間施加同頻反向RF電壓；碰撞反應(yīng)氣體通入第二個電極組。本發(fā)明具有質(zhì)量過濾精度高，簡化碰撞反應(yīng)池工作條件等優(yōu)點。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人聚光科技(杭州)股份有限公司;
- 發(fā)明人梁炎;陳斌;楊凱;劉立鵬;鄭毅;韓雙來;邱明;徐岳;陳飛華;陳文益;李鷹;
- 地址310052 浙江省杭州市濱江區(qū)濱安路760號
- 申請?zhí)?/b>CN201310756581.7
- 申請時間2013年12月31日
- 申請公布號CN103715056A
- 申請公布時間2014年04月09日
- 分類號H01J49/42(2006.01)I;
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