摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種利用單一波長(zhǎng)光源測(cè)量不同波長(zhǎng)相位延遲器件的方法及其系統(tǒng)，屬于光學(xué)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。本系統(tǒng)激光光源經(jīng)光分束器分為兩束，一束依次經(jīng)過(guò)起偏器、光調(diào)制器、待測(cè)相位延遲器、相位補(bǔ)償器、檢偏器、光探測(cè)器后由結(jié)果顯示單元顯示輸出結(jié)果；另一束輸出至激光單色儀；本發(fā)明方法為：系統(tǒng)搭建后首先測(cè)量一組不同波長(zhǎng)光源各自所對(duì)應(yīng)的相位補(bǔ)償器平移量；然后根據(jù)所測(cè)數(shù)據(jù)建立一擬和曲線；將待測(cè)相位延遲器加入到光路后，任選一波長(zhǎng)激光光源，調(diào)節(jié)相位補(bǔ)償器，記錄補(bǔ)償距離ΔL；最后根據(jù)擬和曲線和補(bǔ)充距離ΔL計(jì)算待測(cè)相位延遲器的相位延遲量δs。本發(fā)明可對(duì)任意中心波長(zhǎng)的待測(cè)相位延遲器進(jìn)行直接測(cè)量，而且測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單，易于產(chǎn)品化。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
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- 發(fā)明人宋菲君;張穎;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200910088316.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年07月03日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101592525B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年04月06日
- 分類(lèi)號(hào)G01J9/00(2006.01)I;
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