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產(chǎn)品總數(shù)：4
HPR100 ICP－等離子體工作站
簡(jiǎn)介:HidenHPR100ICP等離子體工作站（ICPplasmaworkstationwithEQPionmass/energyanalyser），完整的RF-ICP反應(yīng)器/等離子體分析系統(tǒng)，可研究全部的等離子體過(guò)程，對(duì)射頻等離子體過(guò)程中的所有種類進(jìn)行組合式的質(zhì)量/能量分析。應(yīng)用：等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究CVD/PVD/MOCVD表面修飾真空...
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PSM 等離子體質(zhì)量和能量分析儀
簡(jiǎn)介:PSM是一臺(tái)差式泵質(zhì)譜儀（In-LinePlasmaAnalysersforNeutrals,RadicalsandIonAnalysis），分析等離子過(guò)程中的二次離子和中性粒子。應(yīng)用：離子束蝕刻等離子體沉積研究離子植入/激光燒蝕殘余氣體分析泄漏檢測(cè)特點(diǎn)：差式泵歧管，通過(guò)法蘭與過(guò)程反應(yīng)室連接靈敏度高/極穩(wěn)定的3級(jí)過(guò)濾四極...
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朗繆爾探針（Langmuir Probe）
簡(jiǎn)介:ESPion朗繆爾探針AdvancedLangmuirProbes儀器介紹ESPion朗繆爾探針（AdvancedLangmuirProbesforElectricalPlasmaCharacterisation）可快速、可靠、精確地進(jìn)行等離子體診斷，是可靠的朗繆爾探針（LangmuirProbe）。主要特點(diǎn)獲得數(shù)據(jù)速度：每秒15次掃描，通過(guò)D-O-E-界面可以自動(dòng)、半...
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等離子體質(zhì)量和能量分析儀EQP
簡(jiǎn)介:EQP等離子體質(zhì)量和能量分析儀MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics儀器介紹HidenEQP是一臺(tái)結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器（MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics），用于分析等離子過(guò)程中陰、陽(yáng)離子、中性粒子以及自由基。主要特點(diǎn)·軟件控制的離子汲取光學(xué)系統(tǒng)，以使等離子...
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