Hiden HPR 100 ICP等離子體工作站（ICP plasma workstation with EQP ion mass / energy analyser），完整的RF-ICP 反應(yīng)器/ 等離子體分析系統(tǒng)，可研究全部的等離子體過(guò)程，對(duì)射頻等離子體過(guò)程中的所有種類進(jìn)行組合式的質(zhì)量/能量分析。

應(yīng)用：

    · 等離子體/ 反應(yīng)性離子蝕刻研究
    · CVD / PVD / MOCVD
    · 表面修飾
    · 真空/等離子體過(guò)程
    · 等離子體清潔 / 殺菌
    · 薄膜制造/修改
    · 合成物制造/修飾

特點(diǎn)：
 
    · 圓柱形石英腔，直徑100mm
    · 4 轉(zhuǎn)動(dòng)方向的銅感應(yīng)卷，及相應(yīng)線圈冷卻設(shè)備和100mm線圈調(diào)節(jié)器。
    · 13.56MHz RF 發(fā)生器， 200W 電源
    · RF防護(hù)(440 x 340 x 340 mm).
    · 空氣冷卻，手動(dòng)或自動(dòng)雙路流量控制
    · 一對(duì)渦輪分子泵管路以進(jìn)行差動(dòng)操作
    · 電容壓力計(jì)，室壓顯示
    · Hiden EQP 500 等離子體分析儀，帶有 100mm Z驅(qū)動(dòng)
    · 質(zhì)量/能量分析儀，可分析陰陽(yáng)離子，中性粒子和自由基團(tuán)
    · MASsoft軟件操作