PSM 是一臺(tái)差式泵質(zhì)譜儀（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。

應(yīng)用：

    · 離子束蝕刻
    · 等離子體沉積研究
    · 離子植入 / 激光燒蝕
    · 殘余氣體分析
    · 泄漏檢測(cè)



特點(diǎn)：

    · 差式泵歧管，通過法蘭與過程反應(yīng)室連接
    · 靈敏度高 / 極穩(wěn)定的3級(jí)過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500
    · 脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器，7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
    · 能量分析選件，標(biāo)準(zhǔn) ±100eV（1000eV可選 ）桿的偏壓掃描
    · 電子附著選件，具有可調(diào)諧的離子源，用于表觀電勢(shì)MS
    · Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
    · 信號(hào)選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布VS時(shí)間
    · 標(biāo)準(zhǔn)分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 離子分析可選
    · Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選， 高壓操作可選
    · 通過RS232、RS485或Ethernet LAN ，軟件MASsoft 控制