精密片材涂布機(jī)由高精度、經(jīng)認(rèn)證的工業(yè)部件制成
花崗巖底座，提供剛度并隔絕震動(dòng)
真空吸盤平面度優(yōu)于5 μm，帶有基片進(jìn)樣系統(tǒng)
定制寬度的狹縫涂布頭，寬度可達(dá)650mm
電機(jī)驅(qū)動(dòng)、可編程的涂布頭高度調(diào)節(jié)，分辨率為1μm
電機(jī)驅(qū)動(dòng)、可編程的涂層偏移調(diào)節(jié)，分辨率為1 μm
真空吸盤由直線伺服電機(jī)和驅(qū)動(dòng)放大器控制
同步材料注射泵-（可選：可同時(shí)控制多個(gè)注射泵）
高精度的自動(dòng)化S2S涂布系統(tǒng)
FOM pontumSC是高度自動(dòng)化的狹縫涂布系統(tǒng)，適用于需要對(duì)涂布過程進(jìn)行高精度控制并實(shí)現(xiàn)自動(dòng)重復(fù)進(jìn)樣的高端應(yīng)用。
深度集成的控制系統(tǒng)
FOM pontumSC配備了一個(gè)深度集成的控制系統(tǒng)，可以控制涂布刀頭、泵和樣品臺(tái)的運(yùn)動(dòng)。XY平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)基片和涂布頭之間的高精度定位，而涂布頭的Z軸定位為涂布工藝提供了超平滑的運(yùn)動(dòng)控制。在線式基片給料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)多樣品連續(xù)涂布。
易于實(shí)驗(yàn)重復(fù)和配方調(diào)用
該系統(tǒng)使用戶可以以高度可控，可預(yù)測(cè)的方式進(jìn)行高精度功能薄膜的重復(fù)涂布，在每個(gè)生產(chǎn)周期中保持高良率。
FOM工業(yè)級(jí)S2S涂布能力
FOM工業(yè)級(jí)S2S涂布機(jī)是一種用于精密狹縫涂布的高端片材涂布機(jī)。通過配備了自動(dòng)基片給料系統(tǒng)、可控固化單元和配方控制軟件的全自動(dòng)狹縫涂布系統(tǒng)來滿足工業(yè)級(jí)生產(chǎn)對(duì)涂布精度和重復(fù)性的要求。僅需簡(jiǎn)單的操作即可實(shí)現(xiàn)多層結(jié)構(gòu)的自動(dòng)涂布或多樣品量產(chǎn)。FOM pontumSC是為面積達(dá)1m x 650mm的剛性基板設(shè)計(jì)的涂布機(jī)，該高精度自動(dòng)化涂布系統(tǒng)可以滿足大多數(shù)中試規(guī)模的大面積印刷電子產(chǎn)品的需求。
