產品特點：
可集成MBRAUN手套箱(由過渡艙實現(xiàn)連接)
可處理50 x 50 mm大小的晶圓基板
緊湊型設計
低成本、經濟型方案
交貨快
安裝簡單、方便
易于工藝改造和提升
應用行業(yè)：
OLEDs/有機光電子
光伏太陽能
