摘要：本實用新型涉及一種用于測量物件尺寸的測量裝置。測量裝置包括：光源，用以產(chǎn)生低相干光；光纖耦合器，用于實現(xiàn)光信號的分路和合路；光纖，用于傳輸光信號；載物裝置，用于盛放被測物；檢測光纖準直儀，用于將光纖的光投射到載物裝置的基準面或位于載物裝置的被測物，以及將載物裝置的基準面或被測物反射的光耦合至光纖內；光路反射裝置，可改變光程且將光信號原路反射；光信號檢測處理裝置，用于檢測光信號是否發(fā)生干涉，并與光路反射裝置連接，計算兩次發(fā)生干涉時光程的改變量。本實用新型取得的有益效果：根據(jù)低相干光的干涉特性調整參考光程，通過光程差得出被測物厚度，該測量裝置簡單且精度高。
- 專利類型實用新型
- 申請人東莞市普密斯精密儀器有限公司;
- 發(fā)明人周峰;譚曉軍;杜勇剛;魏榮財;鄧崇凱;陳博;
- 地址523000 廣東省東莞市東城區(qū)上橋工業(yè)大道松浪街1號
- 申請?zhí)?/b>CN201620567526.2
- 申請時間2016年06月13日
- 申請公布號CN205808357U
- 申請公布時間2016年12月14日
- 分類號G01B11/06(2006.01)I;
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