摘要：本實用新型公開一種微小空間的二次靶靶材精密切換裝置，包括：滑軌座、驅(qū)動電機、絲杠、滑塊、靶材轉(zhuǎn)動電機、靶材轉(zhuǎn)動塊、靶材和靶材限位裝置，驅(qū)動電機固定在滑軌座上，驅(qū)動電機驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動，絲杠驅(qū)動滑塊在滑軌座上滑動，靶材轉(zhuǎn)動電機固定在滑塊上，靶材轉(zhuǎn)動電機帶動靶材轉(zhuǎn)動塊轉(zhuǎn)動，限位裝置限制靶材轉(zhuǎn)動塊運動，靶材轉(zhuǎn)動塊上安裝有靶材且各靶材的安裝角度不同。
- 專利類型實用新型
- 申請人深圳市華唯計量技術(shù)開發(fā)有限公司;
- 發(fā)明人劉小東;江紅;陳光華;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)高新園北區(qū)朗山一路6號意中利科技園2號樓二樓
- 申請?zhí)?/b>CN201620498222.5
- 申請時間2016年05月26日
- 申請公布號CN205656151U
- 申請公布時間2016年10月19日
- 分類號G01N23/223(2006.01)I;
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