摘要：本實(shí)用新型涉及一種電感耦合等離子炬的自動阻抗匹配裝置，包括依次電連接的高頻功率輸入單元、阻抗檢測器、鑒相器、調(diào)整阻抗電容器和控制器，調(diào)整阻抗電容器并聯(lián)有調(diào)頻電容器，調(diào)整阻抗電容器和調(diào)頻電容器之間連接有高頻線圈，控制器與阻抗檢測器之間連接有第一執(zhí)行機(jī)構(gòu)，控制器與調(diào)頻電容器之間連接有第二執(zhí)行器，阻抗檢測器和鑒相器分別監(jiān)測高頻功率輸入單元的輸出端的阻抗絕對值和相值并發(fā)送至控制器，控制器根據(jù)采集到的阻抗絕對值和相值數(shù)據(jù)發(fā)送指令到第一執(zhí)行器和第二執(zhí)行器，第一執(zhí)行器和第二執(zhí)行器分別調(diào)控調(diào)整阻抗電容器和調(diào)頻電容器的電容值以接近標(biāo)準(zhǔn)值。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京海光儀器有限公司;
- 發(fā)明人杜江;張德元;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M3樓
- 申請?zhí)?/b>CN201520648202.7
- 申請時間2015年08月26日
- 申請公布號CN204887662U
- 申請公布時間2015年12月16日
- 分類號H05H1/24(2006.01)I;
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