摘要：一種冷卻裝置，設置在分子泵的泵體上，用于冷卻所述泵體及所述泵體內(nèi)的腔室；所述冷卻裝置包括冷卻管，所述冷卻管的兩端分別與所述泵體上預置的入口和出口配合，用于通入冷卻介質(zhì)；并且所述冷卻管盤設于所述泵體內(nèi)的同一水平面上。本實用新型提供的冷卻裝置可靠性高且容易裝配。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人鄒蒙;陳智勇;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號
- 申請?zhí)?/b>CN201220420696.X
- 申請時間2012年08月23日
- 申請公布號CN202851468U
- 申請公布時間2013年04月03日
- 分類號F04D29/58(2006.01)I;
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