摘要：本實(shí)用新型涉及一種帶千分尺的激光調(diào)焦頭，它包括依次連接的長(zhǎng)擴(kuò)束鏡筒、反射鏡座和調(diào)焦尺模塊，所述調(diào)焦尺模塊上設(shè)有與外部抽塵系統(tǒng)相連的防塵杯，調(diào)焦尺模塊上還設(shè)有聚焦鏡和和用于調(diào)整聚焦鏡高度的千分尺，所述反射鏡座上設(shè)有用于將光束反射到聚焦鏡的反射鏡片。本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)焦尺模塊上的千分尺，快速準(zhǔn)確的調(diào)整激光聚焦焦點(diǎn)位置，提高生產(chǎn)效率。通過(guò)防塵杯連接至外部抽塵系統(tǒng)將硅片劃片過(guò)程中產(chǎn)生的大部分粉塵吸收，然后通過(guò)除塵系統(tǒng)集中處理，提高了除塵系統(tǒng)除塵的效率。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人武漢三工光電設(shè)備制造有限公司;
- 發(fā)明人何成鵬;
- 地址430223 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)武漢大學(xué)科技園
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201120109437.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年04月14日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202053025U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年11月30日
- 分類號(hào)B23K26/38(2006.01)I;B23K26/04(2006.01)I;G02B7/182(2006.01)I;G02B7/04(2006.01)I;
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