摘要：本發(fā)明提供了一種無塵室車間及無塵室車間的氣流調(diào)節(jié)方法。該無塵室車間包括：相互連通的多個(gè)制程區(qū)域空間；風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組，風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組安裝在各個(gè)制程區(qū)域空間的頂部，且各個(gè)制程區(qū)域空間的底部設(shè)有換氣通風(fēng)通道結(jié)構(gòu)；其中，無塵室車間還包括：用于調(diào)節(jié)各個(gè)制程區(qū)域空間內(nèi)氣流流動(dòng)的氣流調(diào)節(jié)設(shè)備，氣流調(diào)節(jié)設(shè)備安裝在各個(gè)制程區(qū)域空間內(nèi)，且氣流調(diào)節(jié)設(shè)備設(shè)置在風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組的下游。應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案能夠解決目前技術(shù)中無塵室車間內(nèi)無塵潔凈環(huán)境依靠風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組進(jìn)行氣流調(diào)節(jié)而造成費(fèi)時(shí)費(fèi)工且影響后續(xù)產(chǎn)品良率的情況的問題。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司;
- 發(fā)明人黃俊欽;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201611109857.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年12月06日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN106556085A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2017年04月05日
- 分類號(hào)F24F3/16(2006.01)I;F24F7/007(2006.01)I;F24F11/02(2006.01)I;F24F13/08(2006.01)I;F24F13/28(2006.01)I;
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