摘要：本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備工藝運(yùn)行狀態(tài)的管理方法，包括：根據(jù)半導(dǎo)體工藝流程創(chuàng)建工藝運(yùn)行狀態(tài)隊(duì)列、事件列表和轉(zhuǎn)換函數(shù)；根據(jù)上述工藝運(yùn)行狀態(tài)隊(duì)列、事件列表和轉(zhuǎn)換函數(shù)生成二維狀態(tài)轉(zhuǎn)換表；對(duì)所述二維狀態(tài)轉(zhuǎn)換表逐行或逐列查詢，依次生成多個(gè)狀態(tài)源臨時(shí)管理文件，每一所述狀態(tài)源臨時(shí)管理文件記錄一個(gè)所述工藝運(yùn)行狀態(tài)，其配置的一個(gè)所述轉(zhuǎn)換事件，以及所述工藝運(yùn)行狀態(tài)經(jīng)該轉(zhuǎn)換事件后的狀態(tài)結(jié)果；以及將全部所述狀態(tài)源臨時(shí)管理文件合并生成動(dòng)態(tài)配置管理文件。本發(fā)明能夠解決特定工藝和異常處理等狀態(tài)轉(zhuǎn)換效率低下和邏輯復(fù)雜造成的成功率低的問題。
- 專利類型發(fā)明專利
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- 申請(qǐng)時(shí)間2016年07月18日
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