摘要：本發(fā)明涉及一種檢測非球面的相位測量偏折方法，該方法基于朗奇檢測的幾何原理對改進的非球面相位測量偏折檢測方法進行逆向光路分析，獲得待測鏡面相對于其理想面形的偏差梯度，積分這些梯度恢復(fù)待測鏡面偏差，進而重建待測面形，從而實現(xiàn)對非球面進行非接觸的全場檢測。該方法避免了現(xiàn)有相位測量偏折術(shù)或朗奇檢測中需通過移動顯示屏、標(biāo)定或近似來得到入射光線，給非球面的檢測帶來較大的方便。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院;
- 發(fā)明人郭春鳳;林曉艷;鄒軍;居家奇;
- 地址200235 上海市徐匯區(qū)漕寶路120號
- 申請?zhí)?/b>CN201610309060.0
- 申請時間2016年05月11日
- 申請公布號CN106017863A
- 申請公布時間2016年10月12日
- 分類號G01M11/00(2006.01)I;G01B11/25(2006.01)I;
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