摘要：本發(fā)明公開了一種可溯源白光干涉原子力探針自動(dòng)定位工件方法，該方法包括如下步驟：在納米級(jí)位移平臺(tái)運(yùn)動(dòng)之前記錄下激光干涉位移計(jì)量系統(tǒng)的初始位移；接著其在垂直方向上快速產(chǎn)生一個(gè)適量的位移，在位移發(fā)生后通過零級(jí)條紋的移動(dòng)量是否在閾值范圍內(nèi)來判斷原子力探針是否定位到工件，而如果納米級(jí)垂直位移平臺(tái)在到達(dá)極限的位移運(yùn)動(dòng)時(shí)還未定位到工件，記錄下其最終位置，并將納米級(jí)垂直位移平臺(tái)復(fù)位，重復(fù)上述步驟，直至定位到工件。按照本發(fā)明設(shè)定的自動(dòng)定位的方法，不受原子力探針與工件之間的距離限制，同時(shí)在定位過程中對(duì)位移進(jìn)行計(jì)量，可實(shí)現(xiàn)可溯源，而采用零級(jí)條紋的移動(dòng)量來判斷探針是否定位到工件具有定位快速和高精度的顯著效果。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人盧文龍;庾能國;劉曉軍;楊文軍;曾春陽;周莉萍;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510703077.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年10月26日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105242074A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年01月13日
- 分類號(hào)G01Q10/00(2010.01)I;
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