摘要:本發(fā)明公開(kāi)了一種保持質(zhì)譜內(nèi)部真空條件下更換離子源的質(zhì)譜儀,包括電離室、質(zhì)譜發(fā)生室和真空封堵接口組件,真空封堵接口組件為兩端開(kāi)口的管道結(jié)構(gòu);三者之間密封串接構(gòu)成供離子穿過(guò)的通道;真空封堵接口組件的管道結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置隔板,隔板的中部開(kāi)有貫通的封堵口;真空封堵接口組件還包括封堵板和驅(qū)動(dòng)組件,驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)封堵板移動(dòng)至封堵口處,封堵板在負(fù)壓下封堵封堵口。本發(fā)明公開(kāi)的質(zhì)譜儀在盡量減小質(zhì)譜發(fā)生室內(nèi)真空狀態(tài)破壞程度的情況下,實(shí)現(xiàn)了離子源的拆裝;而且,離子源更換后,只需要抽取離子源所在區(qū)域的真空,該區(qū)域體積較小,抽真空的時(shí)間明顯縮短,提高了生產(chǎn)效率。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人北京凱爾科技發(fā)展有限公司;
- 發(fā)明人張振華;胡曉光;魏文;
- 地址100085 北京市海淀區(qū)上地東路1號(hào)院3號(hào)樓1層101
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510605489.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年09月21日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105047521A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年11月11日
- 分類(lèi)號(hào)H01J49/26(2006.01)I;




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