摘要：本發(fā)明涉及一種用于研究等離子體-小分子體系反應(yīng)的質(zhì)譜裝置。所述用于研究等離子體-小分子體系反應(yīng)的質(zhì)譜裝置包括等離子體-小分子反應(yīng)單元(1)，飛秒激光電離系統(tǒng)(2)，離子提取系統(tǒng)(3)，質(zhì)量分析器(4)，真空腔體(5)。其中，納秒激光濺射固體靶材用于產(chǎn)生等離子體，氣相小分子經(jīng)過毛細(xì)管進(jìn)入等離子體產(chǎn)生區(qū)域，并且與等離子體在靶材表面附近發(fā)生反應(yīng)。采用飛秒激光電離技術(shù)對反應(yīng)產(chǎn)物進(jìn)行電離，最后，結(jié)合飛行時(shí)間質(zhì)譜技術(shù)對反應(yīng)產(chǎn)物進(jìn)行分析并加以確認(rèn)。該裝置可以準(zhǔn)確、高效、實(shí)時(shí)地表征等離子體與氣相分子反應(yīng)的產(chǎn)物構(gòu)成，為生產(chǎn)加工過程中所存在的實(shí)際的等離子體與氣體反應(yīng)的準(zhǔn)確認(rèn)知提供模型支持。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所;
- 發(fā)明人劉本康;王利;王艷秋;邊晨光;李曉營;
- 地址116023 遼寧省大連市中山路457號
- 申請?zhí)?/b>CN201410787348.X
- 申請時(shí)間2014年12月17日
- 申請公布號CN105762055A
- 申請公布時(shí)間2016年07月13日
- 分類號H01J49/26(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I;
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