摘要：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于降溫爐體的進(jìn)排風(fēng)系統(tǒng)，該進(jìn)排風(fēng)系統(tǒng)包括進(jìn)風(fēng)風(fēng)路和排風(fēng)風(fēng)路，所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)路上設(shè)有進(jìn)風(fēng)閥門(mén)，通過(guò)進(jìn)風(fēng)閥門(mén)開(kāi)度組件調(diào)整所述進(jìn)風(fēng)閥門(mén)的開(kāi)度；所述排風(fēng)風(fēng)路上設(shè)有排風(fēng)閥門(mén)，通過(guò)排風(fēng)閥門(mén)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述排風(fēng)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)。通過(guò)所述進(jìn)風(fēng)閥門(mén)開(kāi)度組件調(diào)整所述進(jìn)風(fēng)閥門(mén)的開(kāi)度，可精確控制進(jìn)入所述降溫爐體內(nèi)的低溫的冷卻介質(zhì)，通過(guò)排風(fēng)閥門(mén)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述排風(fēng)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)，可精確控制排出所述降溫爐體的高溫冷卻介質(zhì)，從而保證降溫爐體的降溫性能，進(jìn)而保證半導(dǎo)體熱處理工藝的質(zhì)量。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人孫少東;侯建明;周厲穎;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510060784.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年02月05日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104634115A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年05月20日
- 分類(lèi)號(hào)F27D9/00(2006.01)I;
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