摘要：本發(fā)明公開了一種激光光源的傳輸腔室內(nèi)的溫控與凈化控制系統(tǒng)，包括：設(shè)置在光路傳輸通道的模塊腔體之前的二級(jí)調(diào)壓閥，用于調(diào)節(jié)待進(jìn)入模塊腔體的通道中的氣體壓力；設(shè)置在光路傳輸通道的氣體凈化裝置和模塊腔體之間的毛細(xì)管，用于保證光路傳輸腔室氣壓與外界氣壓有微正壓；以及設(shè)置在光路傳輸通道的模塊腔體之后的節(jié)流閥，且每個(gè)模塊腔體之后對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)所述的節(jié)流閥，用于調(diào)節(jié)各模塊腔室與環(huán)境大氣壓的壓差。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的溫控與凈化控制方法。本發(fā)明的裝置和方法通過控制腔體與外界的壓差恒定，同時(shí)通過加熱器和熱交換器實(shí)現(xiàn)腔體的精確溫度控制，從而滿足激光光源對(duì)于傳輸腔室內(nèi)氣體的壓力和溫度的高精確性和穩(wěn)定性需求。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人李小平;紀(jì)輝強(qiáng);石文中;趙藝文;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410828841.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年12月26日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104516378A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年04月15日
- 分類號(hào)G05D27/02(2006.01)I;
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