摘要：本發(fā)明公開了一種用于深紫外光刻的激光準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)，包括第一柱面鏡、第二柱面鏡、平面反射鏡和球面鏡，其中球面鏡分別與第一柱面鏡和第二柱面鏡組成兩個準(zhǔn)直擴(kuò)束器，用于對激光器發(fā)射出的激光光束進(jìn)行準(zhǔn)直擴(kuò)束；激光光束依次經(jīng)過第一柱面鏡和第二柱面鏡，接著再被平面反射鏡反射，然后再經(jīng)過球面鏡被送入傳輸光路，最終進(jìn)入光刻機(jī)的光源輸入口。本激光準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)較之其他方式結(jié)構(gòu)更為緊湊，適用于安裝集成，可以適應(yīng)不同的傳輸距離，對距離調(diào)節(jié)的精度要求不高，通過簡單的調(diào)節(jié)裝置即可實現(xiàn)，使用方便且成本低。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人李小平;陳權(quán);雷敏;章偉;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201410837282.0
- 申請時間2014年12月29日
- 申請公布號CN104516117A
- 申請公布時間2015年04月15日
- 分類號G02B27/30(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
