摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種溫度補(bǔ)償方法，包括在硅片保持件上安裝多個(gè)第二溫度傳感器；將硅片保持件搬入處理容器內(nèi)，各第二溫度傳感器和處理容器內(nèi)的多個(gè)第一溫度傳感器一一對(duì)應(yīng)；控制加熱器以第二溫度傳感器為控溫對(duì)象調(diào)整處理容器內(nèi)的溫度，使第二傳感器采集的溫度上升至多個(gè)離散溫度點(diǎn)，當(dāng)采集溫度收斂于離散溫度點(diǎn)時(shí)控制其在該離散溫度點(diǎn)恒溫一定時(shí)間段；在每一離散溫度點(diǎn)的恒溫時(shí)間段內(nèi)周期性記錄多個(gè)第一和第二溫度傳感器所采集的溫度，并計(jì)算兩者的溫度差異值；在實(shí)際熱處理工藝中，根據(jù)各離散溫度點(diǎn)及其對(duì)應(yīng)的溫度差異值，通過(guò)線(xiàn)性插值法在線(xiàn)計(jì)算第一溫度傳感器的采集溫度對(duì)應(yīng)的溫度差異值作為其溫度補(bǔ)償值。本發(fā)明能夠抑制升溫階段的瞬間電力抖動(dòng)。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王艾;徐冬;張乾;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410307129.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年06月30日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104076842B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年10月26日
- 分類(lèi)號(hào)G05D23/32(2006.01)I;
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